| 详细介绍： 一、技术参数
行程范围：X轴------500 mm
Y轴------600 mm
Z轴------400 mm
结构型式：活动桥式
传动方式：直流伺服电机+预载荷高精度空气轴承
长度测量系统：RENISHAW（英国）开放式光栅尺，分辨率为0.5 μm
机台：高精度花岗岩平台
使用环境：温度(20±2)℃，湿度55%-65% ，温度梯度1℃/m
温度变化 1℃/h
空气压力：0.4 MPa - 0.5 Mpa
空气流量：100 L/min – 120 L/min
探针测量系统：
1．控制软件：SEREIN-DMIS V2.0(美国)
2．操作方式：编程自动操作
3．探测系统：RENISHAW（英国）MH20i +TP20
4．测量不确定度（E）：（3.+L/300）μm
二、设备配置
| 
